發表時間:2021-04-23 14:31:50瀏覽量:【小中大】
空氣潔凈度等級(air cleanliness class):潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。國內按空態、靜態、動態對無塵車間進行測試、驗收,符合《GB50073-2013 潔凈廠房設計規范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規范》。
潔凈度和控制污染的持續穩定性,是檢驗無塵車間質量的核心標準,該標準根據區域環境、潔凈程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內區域行業標準。
ISO14644-1國際標準—空氣潔凈度等級劃分
空氣潔凈度等級(N) | 大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(空氣粒子數個/立方米) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um | |
ISO Class1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
ISO Class5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO Class6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO Class7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
ISO Class8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
ISO Class9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平 |
GB50073-2013 國家標準—空氣潔凈度等級
空氣潔凈度等級(N) | 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
1 | 10 | 2 | ||||
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
4(十級) | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
5(百級) | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6(千級) | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7(萬級) | 352000 | 83200 | 2930 | |||
8(十萬級) | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
9(一百萬級) | 35200000 | 8320000 | 293000 |
中國GMP(2010年修訂)新版GMP附錄1 無菌藥品.第三章.第九條……潔凈區各級別空氣懸浮粒子的標準規定如下
潔凈度級別 | 懸浮粒子數最大允許數/m3 |
近似對應傳統潔凈度 | |||
靜態 | 動態 | ||||
0.5um | 0.5um | 0.5um | 0.5um | ||
A級 | 3520 | 20 | 3520 | 20 | 100級 |
B級 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 | 100級 |
C級 | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 | 10,000級 |
D級 | 3520000 | 29000 | 不作規定 | 不作規定 | 100,000級 |
各國潔凈度等級近似對照表
個 / M ≥0.5um | ISO14644-1(1999) | US209E(1992) | US209D(1988) | EECcGMP(1989) | FRANCE AFNOR(1981) | GERMANY VDI 2083 | JAPAN JAOA(1989) |
1 | - | - | - | - | - | - | - |
3.5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 |
10.0 | - | M1 | - | - | - | - | - |
35.3 | 3 | M1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 |
100 | - | M2 | - | - | - | - | - |
353 | 4 | M2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 |
1,000 | - | M3 | - | - | - | - | - |
3,530 | 5 | M3.5 | 100 | A+B | 4,000 | 3 | 5 |
10,000 | - | M4 | - | - | - | - | - |
35,300 | 6 | M4.5 | 1,000 | 1,000 | - | 4 | 6 |
100,000 | - | M5 | - | - | - | - | - |
353,000 | 7 | M5.5 | 10,000 | C | 400,000 | 5 | 7 |
1,000,000 | - | M6 | - | - | - | - | - |
3,530,000 | 8 | M6.5 | 100,000 | D | 4,000,000 | 6 | 8 |
10,000,000 | - | M7 | - | - | - | - | - |
無塵車間(潔凈室)等級說明
使用者在開無塵室的等級給供貨商時,有以下幾個小技巧。
首先是等級定義的模式如下:
Class X (at Y μm )
其中X是無塵室的等級,例如100或10000等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復選。意思就是使用者規定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭,以下是幾個例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多幾個粒徑。
第二個技巧是規定無塵室的狀態,例如:
Class X (at Y μm ),At-rest
供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。
第三個技巧是自訂微粒濃度上限,一般在As-built時無塵室都很干凈,微粒控制能力測試不易,這時可以干脆把驗收上限壓低,例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built
這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時,依然有足夠的微粒控制能力。
半導體行業潔凈室案例圖集
1、 黃光車間多建在百級潔凈區,千級潔凈區也有涉及
2、半導體潔凈室(高架地板)常應用于百級和千級區域
3、 常規半導體潔凈室(潔凈區:萬級至十萬級)
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